光学技术
光學技術
광학기술
OPTICAL TECHNOLOGY
2009年
4期
615-617,621
,共4页
裴文彦%周金运%梁国均%林清华
裴文彥%週金運%樑國均%林清華
배문언%주금운%량국균%림청화
准分子激光器%均束器%光波导管%光刻%无缝扫描%光学设计
準分子激光器%均束器%光波導管%光刻%無縫掃描%光學設計
준분자격광기%균속기%광파도관%광각%무봉소묘%광학설계
351nm波长的准分子激光器由光波导管作为激光均束器,直接输出正六角形均匀分布的照明光束,能在大面积激光投影光刻中实现无缝扫描.同目前常用的微透镜阵列器相比制作简单,无须光阑就能直接获取所需要的六角形光束,减少了能最损失.通过合理的假设和理论推算,依据管内最大反射次数就能适当地选取光波导管的长度,既保证了足够的反射次数以维持良好的均匀性,同时又避免了不必要的管长所带来的更多反射损耗.利用ZEMAX光学设计软件模拟和分析了由光波导管输出的照明光.结果表明,输出的六角形光束的相对光通量为96%,近似于平顶的能量分布,呈现出了极好的均匀性.
351nm波長的準分子激光器由光波導管作為激光均束器,直接輸齣正六角形均勻分佈的照明光束,能在大麵積激光投影光刻中實現無縫掃描.同目前常用的微透鏡陣列器相比製作簡單,無鬚光闌就能直接穫取所需要的六角形光束,減少瞭能最損失.通過閤理的假設和理論推算,依據管內最大反射次數就能適噹地選取光波導管的長度,既保證瞭足夠的反射次數以維持良好的均勻性,同時又避免瞭不必要的管長所帶來的更多反射損耗.利用ZEMAX光學設計軟件模擬和分析瞭由光波導管輸齣的照明光.結果錶明,輸齣的六角形光束的相對光通量為96%,近似于平頂的能量分佈,呈現齣瞭極好的均勻性.
351nm파장적준분자격광기유광파도관작위격광균속기,직접수출정륙각형균균분포적조명광속,능재대면적격광투영광각중실현무봉소묘.동목전상용적미투경진렬기상비제작간단,무수광란취능직접획취소수요적륙각형광속,감소료능최손실.통과합리적가설화이론추산,의거관내최대반사차수취능괄당지선취광파도관적장도,기보증료족구적반사차수이유지량호적균균성,동시우피면료불필요적관장소대래적경다반사손모.이용ZEMAX광학설계연건모의화분석료유광파도관수출적조명광.결과표명,수출적륙각형광속적상대광통량위96%,근사우평정적능량분포,정현출료겁호적균균성.
