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중국과기논문재선
SCIENCEPAPER ONLINE
2009年
8期
587-591
,共5页
电子束沉积系统%真空蒸镀系统%扫描电子显微镜%循环伏安法%交流阻抗谱
電子束沉積繫統%真空蒸鍍繫統%掃描電子顯微鏡%循環伏安法%交流阻抗譜
전자속침적계통%진공증도계통%소묘전자현미경%순배복안법%교류조항보
介绍了Au环微电极的制备和表征方法,该Au环微电极有望在电化学、生物MEMS等方面得到应用.首先设计专用夹具,并在直径为125μm的光纤基底上用电子束蒸发系统沉积厚度为300 nm的Au膜,然后在所沉积的Au膜上用真空沉积系统淀积700nm厚的Parylene钝化层;最后切断沉积有多层薄膜的光纤并形成Au环电极.用扫描电镜(SEM)表征所沉积薄膜及其界面处的结合质量;在室温下用电化学工作站在可逆系统中对Au环电极进行循环伏安和交流阻抗谱分析.表征结果表明:所制备的薄膜及其界面处的结合质量良好;循环伏安响应曲线为典型的S形,交流阻抗谱和Raadels等效电路一致;所制备的Au环电极具备微电极特性.
介紹瞭Au環微電極的製備和錶徵方法,該Au環微電極有望在電化學、生物MEMS等方麵得到應用.首先設計專用夾具,併在直徑為125μm的光纖基底上用電子束蒸髮繫統沉積厚度為300 nm的Au膜,然後在所沉積的Au膜上用真空沉積繫統澱積700nm厚的Parylene鈍化層;最後切斷沉積有多層薄膜的光纖併形成Au環電極.用掃描電鏡(SEM)錶徵所沉積薄膜及其界麵處的結閤質量;在室溫下用電化學工作站在可逆繫統中對Au環電極進行循環伏安和交流阻抗譜分析.錶徵結果錶明:所製備的薄膜及其界麵處的結閤質量良好;循環伏安響應麯線為典型的S形,交流阻抗譜和Raadels等效電路一緻;所製備的Au環電極具備微電極特性.
개소료Au배미전겁적제비화표정방법,해Au배미전겁유망재전화학、생물MEMS등방면득도응용.수선설계전용협구,병재직경위125μm적광섬기저상용전자속증발계통침적후도위300 nm적Au막,연후재소침적적Au막상용진공침적계통정적700nm후적Parylene둔화층;최후절단침적유다층박막적광섬병형성Au배전겁.용소묘전경(SEM)표정소침적박막급기계면처적결합질량;재실온하용전화학공작참재가역계통중대Au배전겁진행순배복안화교류조항보분석.표정결과표명:소제비적박막급기계면처적결합질량량호;순배복안향응곡선위전형적S형,교류조항보화Raadels등효전로일치;소제비적Au배전겁구비미전겁특성.
