材料研究与应用
材料研究與應用
재료연구여응용
MATERIALS RESEARCH AND APPLICATION
2009年
1期
28-31
,共4页
屈芳%白亦真%庄春强%贾福超%邢娇杨%姜辛
屈芳%白亦真%莊春彊%賈福超%邢嬌楊%薑辛
굴방%백역진%장춘강%가복초%형교양%강신
掺硼金刚石%热丝CVD%扫描电子显微镜%拉曼光谱
摻硼金剛石%熱絲CVD%掃描電子顯微鏡%拉曼光譜
참붕금강석%열사CVD%소묘전자현미경%랍만광보
在不同的甲烷流量下,用热丝化学气相沉积方法(HFCVD)在N型(100)单晶硅片上制备了掺硼金刚石薄膜.用扫描电子显微镜(SEM)和拉曼光谱(Raman)对薄膜检测的结果表明,随着甲烷流量的增加,掺硼金刚石薄膜的二次形核增加,晶粒尺寸减小,晶界变得模糊,结晶性下降,非金刚石相增多,过高的甲烷流量导致掺硼金刚石薄膜的球状生长.
在不同的甲烷流量下,用熱絲化學氣相沉積方法(HFCVD)在N型(100)單晶硅片上製備瞭摻硼金剛石薄膜.用掃描電子顯微鏡(SEM)和拉曼光譜(Raman)對薄膜檢測的結果錶明,隨著甲烷流量的增加,摻硼金剛石薄膜的二次形覈增加,晶粒呎吋減小,晶界變得模糊,結晶性下降,非金剛石相增多,過高的甲烷流量導緻摻硼金剛石薄膜的毬狀生長.
재불동적갑완류량하,용열사화학기상침적방법(HFCVD)재N형(100)단정규편상제비료참붕금강석박막.용소묘전자현미경(SEM)화랍만광보(Raman)대박막검측적결과표명,수착갑완류량적증가,참붕금강석박막적이차형핵증가,정립척촌감소,정계변득모호,결정성하강,비금강석상증다,과고적갑완류량도치참붕금강석박막적구상생장.
