材料研究与应用
材料研究與應用
재료연구여응용
MATERIALS RESEARCH AND APPLICATION
2009年
1期
9-13
,共5页
牟宗信%刘升光%王振伟%公发权%贾莉%牟晓东
牟宗信%劉升光%王振偉%公髮權%賈莉%牟曉東
모종신%류승광%왕진위%공발권%가리%모효동
氮化铝%形貌%折射率%磁控溅射
氮化鋁%形貌%摺射率%磁控濺射
담화려%형모%절사솔%자공천사
氮化铝薄膜在力学、光学、声学等领域有着广泛的应用前景.研究沉积条件对氮化铝薄膜的结构、性能的影响具有重要意义. 采用纯铝溅射靶、在不同的N2流量比率条件下,采用中频脉冲磁控溅射在Si(001)衬底上制备出氮化铝薄膜.利用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)、椭偏仪研究了N2流量比率对氮化铝薄膜的微观结构、表面形貌、厚度和折射率的影响.研究结果表明,氮化铝薄膜的微观结构、表面形貌、厚度和折射率与N2流量比率有明显的关系,当固定其它沉积条件时,改变N2流量比率会改变薄膜的沉积速率,当沉积速率发生突变时,薄膜的折射率、微观结构、表面形貌也发生相应的变化. 在实验结果的基础上结合反应沉积的表面动力学因素分析了反应气体中N2流量比率对氮化铝薄膜的表面形貌、微观结构、厚度和折射率的影响原因.
氮化鋁薄膜在力學、光學、聲學等領域有著廣汎的應用前景.研究沉積條件對氮化鋁薄膜的結構、性能的影響具有重要意義. 採用純鋁濺射靶、在不同的N2流量比率條件下,採用中頻脈遲磁控濺射在Si(001)襯底上製備齣氮化鋁薄膜.利用X射線衍射(XRD)、原子力顯微鏡(AFM)、橢偏儀研究瞭N2流量比率對氮化鋁薄膜的微觀結構、錶麵形貌、厚度和摺射率的影響.研究結果錶明,氮化鋁薄膜的微觀結構、錶麵形貌、厚度和摺射率與N2流量比率有明顯的關繫,噹固定其它沉積條件時,改變N2流量比率會改變薄膜的沉積速率,噹沉積速率髮生突變時,薄膜的摺射率、微觀結構、錶麵形貌也髮生相應的變化. 在實驗結果的基礎上結閤反應沉積的錶麵動力學因素分析瞭反應氣體中N2流量比率對氮化鋁薄膜的錶麵形貌、微觀結構、厚度和摺射率的影響原因.
담화려박막재역학、광학、성학등영역유착엄범적응용전경.연구침적조건대담화려박막적결구、성능적영향구유중요의의. 채용순려천사파、재불동적N2류량비솔조건하,채용중빈맥충자공천사재Si(001)츤저상제비출담화려박막.이용X사선연사(XRD)、원자력현미경(AFM)、타편의연구료N2류량비솔대담화려박막적미관결구、표면형모、후도화절사솔적영향.연구결과표명,담화려박막적미관결구、표면형모、후도화절사솔여N2류량비솔유명현적관계,당고정기타침적조건시,개변N2류량비솔회개변박막적침적속솔,당침적속솔발생돌변시,박막적절사솔、미관결구、표면형모야발생상응적변화. 재실험결과적기출상결합반응침적적표면동역학인소분석료반응기체중N2류량비솔대담화려박막적표면형모、미관결구、후도화절사솔적영향원인.
