机械工程学报
機械工程學報
궤계공정학보
CHINESE JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING
2010年
23期
186-191
,共6页
陈逢军%尹韶辉%范玉峰%朱勇建%刘庆
陳逢軍%尹韶輝%範玉峰%硃勇建%劉慶
진봉군%윤소휘%범옥봉%주용건%류경
单点磨削%误差补偿%形状误差%非球面模具%碳化钨磨削
單點磨削%誤差補償%形狀誤差%非毬麵模具%碳化鎢磨削
단점마삭%오차보상%형상오차%비구면모구%탄화오마삭
随着各种小型的非球面光学零部件的广泛应用,其成型模具的制造精度要求也日趋提高.针对目前我国尚未完全掌握非球面模具的超精密磨削技术的情况,对超精密单点磨削和形状误差补偿方法进行研究.利用在位接触式的测量系统的测量数据重构实际的磨削轮廓曲线.根据实际磨削轮廓与目标轮廓之间的法向距离,求解出法向残余误差,并提出基于超精密单点斜轴磨削的形状误差补偿方法.利用超精密磨床对口径为6 mm的超硬碳化钨的非球面光学模具进行超精密磨削、在位测量与误差补偿试验,经过两次循环,其形状精度(Peak to valley,PV)从449 nm改善至182 nm.
隨著各種小型的非毬麵光學零部件的廣汎應用,其成型模具的製造精度要求也日趨提高.針對目前我國尚未完全掌握非毬麵模具的超精密磨削技術的情況,對超精密單點磨削和形狀誤差補償方法進行研究.利用在位接觸式的測量繫統的測量數據重構實際的磨削輪廓麯線.根據實際磨削輪廓與目標輪廓之間的法嚮距離,求解齣法嚮殘餘誤差,併提齣基于超精密單點斜軸磨削的形狀誤差補償方法.利用超精密磨床對口徑為6 mm的超硬碳化鎢的非毬麵光學模具進行超精密磨削、在位測量與誤差補償試驗,經過兩次循環,其形狀精度(Peak to valley,PV)從449 nm改善至182 nm.
수착각충소형적비구면광학령부건적엄범응용,기성형모구적제조정도요구야일추제고.침대목전아국상미완전장악비구면모구적초정밀마삭기술적정황,대초정밀단점마삭화형상오차보상방법진행연구.이용재위접촉식적측량계통적측량수거중구실제적마삭륜곽곡선.근거실제마삭륜곽여목표륜곽지간적법향거리,구해출법향잔여오차,병제출기우초정밀단점사축마삭적형상오차보상방법.이용초정밀마상대구경위6 mm적초경탄화오적비구면광학모구진행초정밀마삭、재위측량여오차보상시험,경과량차순배,기형상정도(Peak to valley,PV)종449 nm개선지182 nm.
