光机电信息
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광궤전신식
OME INFORMATION
2008年
12期
15-25
,共11页
原子级薄膜形貌的成因和演变的历史可以追溯到19世纪中叶关于薄膜沉积的最早的几篇文章.研究者追踪了在低吸附原子迁移率条件下制备薄膜的文献,并将研究者对薄膜形貌定量化研究方面的成就和现状的思考进行了整理.基于纳米级原子团簇的演化的薄膜原子模型,原子自阴影和竞争形成柱状生长,这些成为量化处理的主要部分.研究雕塑薄膜是一个连接形貌学模型科学和实际薄膜发展的例子.
原子級薄膜形貌的成因和縯變的歷史可以追溯到19世紀中葉關于薄膜沉積的最早的幾篇文章.研究者追蹤瞭在低吸附原子遷移率條件下製備薄膜的文獻,併將研究者對薄膜形貌定量化研究方麵的成就和現狀的思攷進行瞭整理.基于納米級原子糰簇的縯化的薄膜原子模型,原子自陰影和競爭形成柱狀生長,這些成為量化處理的主要部分.研究彫塑薄膜是一箇連接形貌學模型科學和實際薄膜髮展的例子.
원자급박막형모적성인화연변적역사가이추소도19세기중협관우박막침적적최조적궤편문장.연구자추종료재저흡부원자천이솔조건하제비박막적문헌,병장연구자대박막형모정양화연구방면적성취화현상적사고진행료정리.기우납미급원자단족적연화적박막원자모형,원자자음영화경쟁형성주상생장,저사성위양화처리적주요부분.연구조소박막시일개련접형모학모형과학화실제박막발전적례자.
