基于衍射光谱的孔径平面结构测量研究
기우연사광보적공경평면결구측량연구
Research for Structure Measurement of Aperture Plane Based on Diffraction Spectrum
  • 万方数据
    光谱实验室 광보실험실
    CHINESE JOURNAL OF SPECTROSCOPY LABORATORY
    2011年 1期 175-178 ,共4页

    韩采芹

    한채근

    衍射光谱%孔径阵列%傅里叶变换%远场 衍射光譜%孔徑陣列%傅裏葉變換%遠場
    연사광보%공경진렬%부리협변환%원장
    提出衍射光谱的一种新应用,通过直接测量宽频带光源在远场一空间位置处的衍射光谱,获得孔径阵列平面的结构信息,这种方法能适用于任何一种不同标准和尺寸的孔径阵列平面结构的测量.
    제출연사광보적일충신응용,통과직접측량관빈대광원재원장일공간위치처적연사광보,획득공경진렬평면적결구신식,저충방법능괄용우임하일충불동표준화척촌적공경진렬평면결구적측량.
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