机械
機械
궤계
MACHINERY
2008年
1期
11-13
,共3页
计算机微视觉%微结构%三维显微测量
計算機微視覺%微結構%三維顯微測量
계산궤미시각%미결구%삼유현미측량
微结构三维显微测量是研究微加工工艺和微尺度结构特性的主要测试手段.一种基于计算机微视觉的方法被提出用来对三维微结构进行显微测量.对微结构测试及构形系统的基本原理进行了研究,构建了微结构测试及构形系统的硬件和软件平台.从而实现了在光学显微镜下对微结构的三维观测[0].通过运用微结构测试及构形系统的硬件平台实现了对微结构高分辨率的观察测量、三维精确运动控制以及水平与竖直方向的精确制动.通过软件平台完成了对微结构的三维重构.课题利用微结构测试及构形系统对微结构进行了测试及重构.通过实验,证明了理论研究和系统的可行性,该研究在微结构的测试方面具有较大的理论意义和实用价值.
微結構三維顯微測量是研究微加工工藝和微呎度結構特性的主要測試手段.一種基于計算機微視覺的方法被提齣用來對三維微結構進行顯微測量.對微結構測試及構形繫統的基本原理進行瞭研究,構建瞭微結構測試及構形繫統的硬件和軟件平檯.從而實現瞭在光學顯微鏡下對微結構的三維觀測[0].通過運用微結構測試及構形繫統的硬件平檯實現瞭對微結構高分辨率的觀察測量、三維精確運動控製以及水平與豎直方嚮的精確製動.通過軟件平檯完成瞭對微結構的三維重構.課題利用微結構測試及構形繫統對微結構進行瞭測試及重構.通過實驗,證明瞭理論研究和繫統的可行性,該研究在微結構的測試方麵具有較大的理論意義和實用價值.
미결구삼유현미측량시연구미가공공예화미척도결구특성적주요측시수단.일충기우계산궤미시각적방법피제출용래대삼유미결구진행현미측량.대미결구측시급구형계통적기본원리진행료연구,구건료미결구측시급구형계통적경건화연건평태.종이실현료재광학현미경하대미결구적삼유관측[0].통과운용미결구측시급구형계통적경건평태실현료대미결구고분변솔적관찰측량、삼유정학운동공제이급수평여수직방향적정학제동.통과연건평태완성료대미결구적삼유중구.과제이용미결구측시급구형계통대미결구진행료측시급중구.통과실험,증명료이론연구화계통적가행성,해연구재미결구적측시방면구유교대적이론의의화실용개치.
