压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2007年
6期
683-685
,共3页
郭冬云%李美亚%裴玲%于本方%吴庚柱%王耘波%杨斌%于军
郭鼕雲%李美亞%裴玲%于本方%吳庚柱%王耘波%楊斌%于軍
곽동운%리미아%배령%우본방%오경주%왕운파%양빈%우군
Bi4Ti3O12薄膜%溶胶-凝胶(Sol-Gel)法%铁电性能%疲劳性能
Bi4Ti3O12薄膜%溶膠-凝膠(Sol-Gel)法%鐵電性能%疲勞性能
Bi4Ti3O12박막%용효-응효(Sol-Gel)법%철전성능%피로성능
采用溶胶-凝胶(Sol-Gel)法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了Bi4Ti3O12(BTO)铁电薄膜,利用X-射线衍射仪(XRD)和原子力显微镜(AFM)对其晶格结构和表面形貌进行了表征,制备的BTO薄膜具有单一的钙钛矿晶格结构和表面平整致密.对700 ℃退火的BTO薄膜进行了铁电性能和疲劳特性测试,在测试电压为6 V时,剩余极化值2Pr约为12.5 μC/cm2,矫顽电场2Ec约为116.7 kV/cm;经1×109次极化反转后,剩余极化值下降了24%,对其疲劳机理进行了探讨.
採用溶膠-凝膠(Sol-Gel)法在Pt/Ti/SiO2/Si襯底上製備瞭Bi4Ti3O12(BTO)鐵電薄膜,利用X-射線衍射儀(XRD)和原子力顯微鏡(AFM)對其晶格結構和錶麵形貌進行瞭錶徵,製備的BTO薄膜具有單一的鈣鈦礦晶格結構和錶麵平整緻密.對700 ℃退火的BTO薄膜進行瞭鐵電性能和疲勞特性測試,在測試電壓為6 V時,剩餘極化值2Pr約為12.5 μC/cm2,矯頑電場2Ec約為116.7 kV/cm;經1×109次極化反轉後,剩餘極化值下降瞭24%,對其疲勞機理進行瞭探討.
채용용효-응효(Sol-Gel)법재Pt/Ti/SiO2/Si츤저상제비료Bi4Ti3O12(BTO)철전박막,이용X-사선연사의(XRD)화원자력현미경(AFM)대기정격결구화표면형모진행료표정,제비적BTO박막구유단일적개태광정격결구화표면평정치밀.대700 ℃퇴화적BTO박막진행료철전성능화피로특성측시,재측시전압위6 V시,잉여겁화치2Pr약위12.5 μC/cm2,교완전장2Ec약위116.7 kV/cm;경1×109차겁화반전후,잉여겁화치하강료24%,대기피로궤리진행료탐토.
