一种新型的材料内应力测试方法——偏振透射差分法
일충신형적재료내응력측시방법——편진투사차분법
A New Method for Testing Inner Strains of Semiconductor Substrate Materials——Polarization Transmittance Difference
  • 万方数据
    半导体学报 반도체학보
    CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
    2007年 z1期 555-557 ,共3页

    赵玲慧%陈涌海

    조령혜%진용해

    偏振透射差分%内应力%弹光效应%光弹性调制器 偏振透射差分%內應力%彈光效應%光彈性調製器
    편진투사차분%내응력%탄광효응%광탄성조제기
    采用一种全新的偏振透射差分法-PTD(polarization transmittance difference)法来测量半导体衬底材料的内应力分布.由于该方法使用了偏振调制技术,无需旋转样品或者偏振元件进行多次测量,使得测量过程变得简单、迅速,并准确给出整体材料的内应力二维分布图.此方法属于无损测试.
    채용일충전신적편진투사차분법-PTD(polarization transmittance difference)법래측량반도체츤저재료적내응력분포.유우해방법사용료편진조제기술,무수선전양품혹자편진원건진행다차측량,사득측량과정변득간단、신속,병준학급출정체재료적내응력이유분포도.차방법속우무손측시.
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