科技咨询导报
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과기자순도보
SCIENCE AND TECHNOLOGY CONSULTING HERALD
2007年
19期
3-4
,共2页
阴极%脉冲沉积%薄膜%表面%发射机制
陰極%脈遲沉積%薄膜%錶麵%髮射機製
음겁%맥충침적%박막%표면%발사궤제
介绍了一种新型的专为阴极研究设计的与俄歇能谱仪(AES)相连的脉冲激光沉积(PLD)装置,本装置可以实现阴极薄膜的快速制备,测量发射性能和原位分析表面成分.简述了此装置在研究阴极表面发射机制最新应用.
介紹瞭一種新型的專為陰極研究設計的與俄歇能譜儀(AES)相連的脈遲激光沉積(PLD)裝置,本裝置可以實現陰極薄膜的快速製備,測量髮射性能和原位分析錶麵成分.簡述瞭此裝置在研究陰極錶麵髮射機製最新應用.
개소료일충신형적전위음겁연구설계적여아헐능보의(AES)상련적맥충격광침적(PLD)장치,본장치가이실현음겁박막적쾌속제비,측량발사성능화원위분석표면성분.간술료차장치재연구음겁표면발사궤제최신응용.
