小型锆吸气泵在真空靶室中的应用研究
소형고흡기빙재진공파실중적응용연구
Application of mini-type zirconium getter pump in vacuum chamber
  • 万方数据
    真空 진공
    VACUUM
    2007年 3期 43-46 ,共4页

    张小东%张国光%邱孟通%宋纪文%李大海%陈亮

    장소동%장국광%구맹통%송기문%리대해%진량

    真空靶室%静真空保持%锆吸气泵 真空靶室%靜真空保持%鋯吸氣泵
    진공파실%정진공보지%고흡기빙
    本文主要介绍了锆吸气泵的原理,以及在真空靶室上应用锆吸气泵所获得的良好结果,为解决靶室静态真空保持问题提供新的思路和技术方法.
    본문주요개소료고흡기빙적원리,이급재진공파실상응용고흡기빙소획득적량호결과,위해결파실정태진공보지문제제공신적사로화기술방법.
    원문보기 원문다운로드 사이트로이동
저자의 최근 논문