半导体学报
半導體學報
반도체학보
CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
2007年
1期
69-72
,共4页
陈杰智%施毅%濮林%龙世兵%刘明%郑有炓
陳傑智%施毅%濮林%龍世兵%劉明%鄭有炓
진걸지%시의%복림%룡세병%류명%정유료
单电子晶体管%库仑阻塞%库仑振荡%负微分电导
單電子晶體管%庫崙阻塞%庫崙振盪%負微分電導
단전자정체관%고륜조새%고륜진탕%부미분전도
为了增强单电子晶体管中栅极和沟道量子点之间的耦合度,提高增益调节系数,发展了结合预制控制栅、电子束直写、各向异性腐蚀和热氧化的制备工艺.在室温下对器件的电学特性进行测量,观察到了典型的库仑振荡效应和负微分电导效应.基于量子点能级分立模型,分析了器件的输运原理,重点研究了强耦合作用对器件输运性质的影响.研究表明,通过控制量子点的热氧化时间,将器件量子点尺寸减小到7.6nm,增益调节系数提高到0.84.
為瞭增彊單電子晶體管中柵極和溝道量子點之間的耦閤度,提高增益調節繫數,髮展瞭結閤預製控製柵、電子束直寫、各嚮異性腐蝕和熱氧化的製備工藝.在室溫下對器件的電學特性進行測量,觀察到瞭典型的庫崙振盪效應和負微分電導效應.基于量子點能級分立模型,分析瞭器件的輸運原理,重點研究瞭彊耦閤作用對器件輸運性質的影響.研究錶明,通過控製量子點的熱氧化時間,將器件量子點呎吋減小到7.6nm,增益調節繫數提高到0.84.
위료증강단전자정체관중책겁화구도양자점지간적우합도,제고증익조절계수,발전료결합예제공제책、전자속직사、각향이성부식화열양화적제비공예.재실온하대기건적전학특성진행측량,관찰도료전형적고륜진탕효응화부미분전도효응.기우양자점능급분립모형,분석료기건적수운원리,중점연구료강우합작용대기건수운성질적영향.연구표명,통과공제양자점적열양화시간,장기건양자점척촌감소도7.6nm,증익조절계수제고도0.84.
