半导体技术
半導體技術
반도체기술
SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY
2006年
7期
537-541
,共5页
微机电系统%高g值%敏感元件%阻尼设计
微機電繫統%高g值%敏感元件%阻尼設計
미궤전계통%고g치%민감원건%조니설계
根据引信环境信息探测的要求,设计了一种新型MEMS高g值压阻式加速度传感器敏感元件.通过ANSYS仿真对该结构进行了量程分析、抗过载分析、灵敏度分析及横向灵敏度分析,提供了一种新的阻尼设计方法.结合过载保护设计,较好地实现了结构阻尼控制与过载保护的融合.最后设计了一套可行的加工工艺.
根據引信環境信息探測的要求,設計瞭一種新型MEMS高g值壓阻式加速度傳感器敏感元件.通過ANSYS倣真對該結構進行瞭量程分析、抗過載分析、靈敏度分析及橫嚮靈敏度分析,提供瞭一種新的阻尼設計方法.結閤過載保護設計,較好地實現瞭結構阻尼控製與過載保護的融閤.最後設計瞭一套可行的加工工藝.
근거인신배경신식탐측적요구,설계료일충신형MEMS고g치압조식가속도전감기민감원건.통과ANSYS방진대해결구진행료량정분석、항과재분석、령민도분석급횡향령민도분석,제공료일충신적조니설계방법.결합과재보호설계,교호지실현료결구조니공제여과재보호적융합.최후설계료일투가행적가공공예.
