从晶体取向特点探讨ZnO薄膜的晶体不完整性
종정체취향특점탐토ZnO박막적정체불완정성
Studies on Crystal Structure of ZnO Films by the Mis-orientation
  • 万方数据
    高等学校化学学报 고등학교화학학보
    CHEMICAL JOURNAL OF CHINESE UNIVERSITIES
    2006年 5期 805-807 ,共3页

    侯长民%黄科科%高忠民%马艳%杜国同%李向山%冯守华

    후장민%황과과%고충민%마염%두국동%리향산%풍수화

    氧化锌薄膜%晶体取向%取向柱状多晶体 氧化鋅薄膜%晶體取嚮%取嚮柱狀多晶體
    양화자박막%정체취향%취향주상다정체
    用MOCVD法在蓝宝石衬底上得到了ZnO(0002)膜, 并用XRD和SEM进行了表征. 结果表明, 薄膜中沿[0001]择优取向生长的柱状晶垂直于衬底表面, 晶柱之间存在着边界和间隙. X射线Ф扫描实验结果表明, 晶柱之间的取向偏差在3°～30°之间. X射线ω摇摆曲线和谱线宽度分析结果表明, 薄膜中的晶柱是由多个晶粒堆叠而成, 且晶粒之间的平均取向偏差也在2.6°以上. 实验结果表明,ZnO大失配度异质外延膜是c轴[0001]取向柱状多晶体, ZnO薄膜的结晶不完整性主要是由其柱状晶结构造成的.
    용MOCVD법재람보석츤저상득도료ZnO(0002)막, 병용XRD화SEM진행료표정. 결과표명, 박막중연[0001]택우취향생장적주상정수직우츤저표면, 정주지간존재착변계화간극. X사선Ф소묘실험결과표명, 정주지간적취향편차재3°～30°지간. X사선ω요파곡선화보선관도분석결과표명, 박막중적정주시유다개정립퇴첩이성, 차정립지간적평균취향편차야재2.6°이상. 실험결과표명,ZnO대실배도이질외연막시c축[0001]취향주상다정체, ZnO박막적결정불완정성주요시유기주상정결구조성적.
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