材料导报
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재료도보
MATERIALS REVIEW
2006年
5期
54-58
,共5页
李小龙%褚明福%帅茂兵%廖俊生
李小龍%褚明福%帥茂兵%廖俊生
리소룡%저명복%수무병%료준생
聚对二甲苯%热老化%紫外光老化%辐射老化
聚對二甲苯%熱老化%紫外光老化%輻射老化
취대이갑분%열노화%자외광노화%복사노화
介绍了聚对二甲苯(Parylene)薄膜在热、紫外光和γ射线中的老化行为及产物,讨论了一些老化现象的机理,提出了今后需要加强研究的方向.Parylene抗辐射能力最强,而抗紫外线能力最差,其老化主要表现在亚甲基的氧化与断裂.在125℃左右,开始出现较明显的热氧化,氧化速率与温度的关系符合Arrhenius关系式;在300nm的紫外光照射下发生较明显的降解,-Cl的存在对光解有加速作用;在空气气氛中,当γ辐照剂量超过50kGy后Parylene将发生明显的氧化,其耗氧量与辐照剂量近似呈线性关系,而且薄膜的熔融温度下降,透湿系数提高.
介紹瞭聚對二甲苯(Parylene)薄膜在熱、紫外光和γ射線中的老化行為及產物,討論瞭一些老化現象的機理,提齣瞭今後需要加彊研究的方嚮.Parylene抗輻射能力最彊,而抗紫外線能力最差,其老化主要錶現在亞甲基的氧化與斷裂.在125℃左右,開始齣現較明顯的熱氧化,氧化速率與溫度的關繫符閤Arrhenius關繫式;在300nm的紫外光照射下髮生較明顯的降解,-Cl的存在對光解有加速作用;在空氣氣氛中,噹γ輻照劑量超過50kGy後Parylene將髮生明顯的氧化,其耗氧量與輻照劑量近似呈線性關繫,而且薄膜的鎔融溫度下降,透濕繫數提高.
개소료취대이갑분(Parylene)박막재열、자외광화γ사선중적노화행위급산물,토론료일사노화현상적궤리,제출료금후수요가강연구적방향.Parylene항복사능력최강,이항자외선능력최차,기노화주요표현재아갑기적양화여단렬.재125℃좌우,개시출현교명현적열양화,양화속솔여온도적관계부합Arrhenius관계식;재300nm적자외광조사하발생교명현적강해,-Cl적존재대광해유가속작용;재공기기분중,당γ복조제량초과50kGy후Parylene장발생명현적양화,기모양량여복조제량근사정선성관계,이차박막적용융온도하강,투습계수제고.
