真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2005年
z1期
86-89
,共4页
李丽%方亮%廖克俊%刘高斌%杨丰帆%付光宗
李麗%方亮%廖剋俊%劉高斌%楊豐帆%付光宗
리려%방량%료극준%류고빈%양봉범%부광종
ZnO薄膜%磁控溅射%温差电动势率%载流子浓度
ZnO薄膜%磁控濺射%溫差電動勢率%載流子濃度
ZnO박막%자공천사%온차전동세솔%재류자농도
本文采用直流反应磁控溅射方法在平面玻璃上制备了ZnO薄膜.所得的ZnO薄膜利用X光衍射,扫描电子显微镜和原子力显微镜进行分析和表征.实验结果表明,ZnO薄膜的结构和电学性质与合成条件密切相关.并测试了ZnO薄膜的温差电动势,得出薄膜中的载流子浓度越大,温差电动势率越小;ZnO薄膜厚度越大,温差电动势率越小.本文对其结果进行了理论分析.
本文採用直流反應磁控濺射方法在平麵玻璃上製備瞭ZnO薄膜.所得的ZnO薄膜利用X光衍射,掃描電子顯微鏡和原子力顯微鏡進行分析和錶徵.實驗結果錶明,ZnO薄膜的結構和電學性質與閤成條件密切相關.併測試瞭ZnO薄膜的溫差電動勢,得齣薄膜中的載流子濃度越大,溫差電動勢率越小;ZnO薄膜厚度越大,溫差電動勢率越小.本文對其結果進行瞭理論分析.
본문채용직류반응자공천사방법재평면파리상제비료ZnO박막.소득적ZnO박막이용X광연사,소묘전자현미경화원자력현미경진행분석화표정.실험결과표명,ZnO박막적결구화전학성질여합성조건밀절상관.병측시료ZnO박막적온차전동세,득출박막중적재류자농도월대,온차전동세솔월소;ZnO박막후도월대,온차전동세솔월소.본문대기결과진행료이론분석.
