功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2005年
10期
1535-1537
,共3页
于光龙%朱建国%朱基亮%芦苇%肖定全
于光龍%硃建國%硃基亮%蘆葦%肖定全
우광룡%주건국%주기량%호위%초정전
Monte Carlo模拟%薄膜生长%PbTiO3薄膜%氧化物
Monte Carlo模擬%薄膜生長%PbTiO3薄膜%氧化物
Monte Carlo모의%박막생장%PbTiO3박막%양화물
根据本文作者提出的基于Monte Carlo方法模拟多元氧化物薄膜生长的三维模型及模拟算法(详见另文),编制了模拟软件,并以PbTiO3薄膜为例模拟了多元氧化物薄膜生长初期的表面形貌.模拟中选定两个输入参数为沉积速率和沉积温度,并根据相关研究报道的实验条件,分别取沉积速率处于0.1～0.001nm/s之间,沉积温度处于800～1000K之间.模拟结果表明,在薄膜生长的初始阶段,沉积速率和沉积温度对薄膜形貌的影响很大,随着沉积速率的降低和沉积温度的升高,初始凝聚岛的面积增大,总的岛的数目减小;在较低的沉积速率和较高的沉积温度条件下更容易得到薄膜的层状生长.
根據本文作者提齣的基于Monte Carlo方法模擬多元氧化物薄膜生長的三維模型及模擬算法(詳見另文),編製瞭模擬軟件,併以PbTiO3薄膜為例模擬瞭多元氧化物薄膜生長初期的錶麵形貌.模擬中選定兩箇輸入參數為沉積速率和沉積溫度,併根據相關研究報道的實驗條件,分彆取沉積速率處于0.1～0.001nm/s之間,沉積溫度處于800～1000K之間.模擬結果錶明,在薄膜生長的初始階段,沉積速率和沉積溫度對薄膜形貌的影響很大,隨著沉積速率的降低和沉積溫度的升高,初始凝聚島的麵積增大,總的島的數目減小;在較低的沉積速率和較高的沉積溫度條件下更容易得到薄膜的層狀生長.
근거본문작자제출적기우Monte Carlo방법모의다원양화물박막생장적삼유모형급모의산법(상견령문),편제료모의연건,병이PbTiO3박막위례모의료다원양화물박막생장초기적표면형모.모의중선정량개수입삼수위침적속솔화침적온도,병근거상관연구보도적실험조건,분별취침적속솔처우0.1～0.001nm/s지간,침적온도처우800～1000K지간.모의결과표명,재박막생장적초시계단,침적속솔화침적온도대박막형모적영향흔대,수착침적속솔적강저화침적온도적승고,초시응취도적면적증대,총적도적수목감소;재교저적침적속솔화교고적침적온도조건하경용역득도박막적층상생장.
