功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2004年
z1期
1182-1185
,共4页
曾祥斌%孙小卫%李俊峰%齐国钧
曾祥斌%孫小衛%李俊峰%齊國鈞
증상빈%손소위%리준봉%제국균
多晶硅薄膜%金属诱导晶化%实时电阻测量%薄膜晶体管
多晶硅薄膜%金屬誘導晶化%實時電阻測量%薄膜晶體管
다정규박막%금속유도정화%실시전조측량%박막정체관
采用实时电阻测量方法实现了金属镍诱导晶化制备多晶硅薄膜的实时监控,实验中使用了两种样品,一种采用电场增强侧向晶化;另一种采用金属诱导侧向晶化.结果表明薄膜电阻值在高温下随晶化时间呈指数衰减,且具有很强的温度依赖关系.采用晶粒边界势垒模型解释了阻值衰减行为,分析计算了两种样品的阻值衰减规律.电场增强方式的时间常数比非电场增强方式小,表明加电场有促进晶化的作用.实时电阻测量方法可以用于金属诱导晶化动力学的研究,是一种简单实用的实时监控手段.
採用實時電阻測量方法實現瞭金屬鎳誘導晶化製備多晶硅薄膜的實時鑑控,實驗中使用瞭兩種樣品,一種採用電場增彊側嚮晶化;另一種採用金屬誘導側嚮晶化.結果錶明薄膜電阻值在高溫下隨晶化時間呈指數衰減,且具有很彊的溫度依賴關繫.採用晶粒邊界勢壘模型解釋瞭阻值衰減行為,分析計算瞭兩種樣品的阻值衰減規律.電場增彊方式的時間常數比非電場增彊方式小,錶明加電場有促進晶化的作用.實時電阻測量方法可以用于金屬誘導晶化動力學的研究,是一種簡單實用的實時鑑控手段.
채용실시전조측량방법실현료금속얼유도정화제비다정규박막적실시감공,실험중사용료량충양품,일충채용전장증강측향정화;령일충채용금속유도측향정화.결과표명박막전조치재고온하수정화시간정지수쇠감,차구유흔강적온도의뢰관계.채용정립변계세루모형해석료조치쇠감행위,분석계산료량충양품적조치쇠감규률.전장증강방식적시간상수비비전장증강방식소,표명가전장유촉진정화적작용.실시전조측량방법가이용우금속유도정화동역학적연구,시일충간단실용적실시감공수단.
