功能材料在MEMS中的应用及进展
공능재료재MEMS중적응용급진전
The application and development of functional materials in MEMS
  • 万方数据
    功能材料 공능재료
    JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
    2004年 z1期 939-942 ,共4页

    王灵婕%林吉申

    왕령첩%림길신

    MEMS%硅%材料 MEMS%硅%材料
    MEMS%규%재료
    以硅材料为基础的微机电系统MEMS被人们认为是21世纪革命性的新技术,是实现信息采集、处理、执行一体化,使之成为真正的系统.本文论述了MEMS的加工技术对材料提出的要求,以及近年来各种硅材料和功能材料在MEMS的应用和最新进展.
    이규재료위기출적미궤전계통MEMS피인문인위시21세기혁명성적신기술,시실현신식채집、처리、집행일체화,사지성위진정적계통.본문논술료MEMS적가공기술대재료제출적요구,이급근년래각충규재료화공능재료재MEMS적응용화최신진전.
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