磁性材料及器件
磁性材料及器件
자성재료급기건
JOURNAL OF MAGNETIC MATERIALS AND DEVICES
2004年
6期
34-36
,共3页
耿笑炎%石玉%张怀武%尉旭波
耿笑炎%石玉%張懷武%尉旭波
경소염%석옥%장부무%위욱파
磁性MEMS%传感器%应用
磁性MEMS%傳感器%應用
자성MEMS%전감기%응용
微电子机械系统(MEMS)技术结合磁性材料的特性,会产生许多新的功能,并在很多领域得到应用,如信息技术、汽车工业、生物医学,航空以及科学仪器等.本文阐述了在微米尺寸下,磁性MEMS相对于静电和压电执行器,在强度、偏振、执行距离等方面具有的优势,并就磁性MEMS现有及潜在的应用加以概述.
微電子機械繫統(MEMS)技術結閤磁性材料的特性,會產生許多新的功能,併在很多領域得到應用,如信息技術、汽車工業、生物醫學,航空以及科學儀器等.本文闡述瞭在微米呎吋下,磁性MEMS相對于靜電和壓電執行器,在彊度、偏振、執行距離等方麵具有的優勢,併就磁性MEMS現有及潛在的應用加以概述.
미전자궤계계통(MEMS)기술결합자성재료적특성,회산생허다신적공능,병재흔다영역득도응용,여신식기술、기차공업、생물의학,항공이급과학의기등.본문천술료재미미척촌하,자성MEMS상대우정전화압전집행기,재강도、편진、집행거리등방면구유적우세,병취자성MEMS현유급잠재적응용가이개술.
