物探装备
物探裝備
물탐장비
EQUIPMENT FOR GEOPHYSICAL PROSPECTING
2003年
4期
217-219,222
,共4页
潘中印%张传兆%蒋立冬%曲学政
潘中印%張傳兆%蔣立鼕%麯學政
반중인%장전조%장입동%곡학정
MEMS%传感器%低噪声%原理
MEMS%傳感器%低譟聲%原理
MEMS%전감기%저조성%원리
微电子-机械系统(Microelectro-mechanical system)MEMS,或曰微机电系统传感技术,已逐步应用于地球物理勘探领域.利用MEMS技术开发的新一代全数字地震传感器,其输出从直流到千赫兹范围内(如1kHz),均呈现加速度检波器的特性,且具有极低的固有噪声和畸变、直接的数字输出、高的矢量保真度和良好的低频响应.文章着重介绍MEMS的基本加工原理,基本电原理以及MEMS芯片使用安装的注意事项.
微電子-機械繫統(Microelectro-mechanical system)MEMS,或曰微機電繫統傳感技術,已逐步應用于地毬物理勘探領域.利用MEMS技術開髮的新一代全數字地震傳感器,其輸齣從直流到韆赫玆範圍內(如1kHz),均呈現加速度檢波器的特性,且具有極低的固有譟聲和畸變、直接的數字輸齣、高的矢量保真度和良好的低頻響應.文章著重介紹MEMS的基本加工原理,基本電原理以及MEMS芯片使用安裝的註意事項.
미전자-궤계계통(Microelectro-mechanical system)MEMS,혹왈미궤전계통전감기술,이축보응용우지구물리감탐영역.이용MEMS기술개발적신일대전수자지진전감기,기수출종직류도천혁자범위내(여1kHz),균정현가속도검파기적특성,차구유겁저적고유조성화기변、직접적수자수출、고적시량보진도화량호적저빈향응.문장착중개소MEMS적기본가공원리,기본전원리이급MEMS심편사용안장적주의사항.
