仪表技术与传感器
儀錶技術與傳感器
의표기술여전감기
INSTRUMENT TECHNIQUE AND SENSOR
2000年
8期
16-17,34
,共3页
MEMS%隧道效应%磁强计
MEMS%隧道效應%磁彊計
MEMS%수도효응%자강계
隧道效应传感器是一种灵敏度很高的位移传感器,其原理已经被用于微加速度计和红外传感器的设计.文中介绍了基于这一原理的微型磁强计,对传感器的固有频率和驱动电压进行了分析和计算.
隧道效應傳感器是一種靈敏度很高的位移傳感器,其原理已經被用于微加速度計和紅外傳感器的設計.文中介紹瞭基于這一原理的微型磁彊計,對傳感器的固有頻率和驅動電壓進行瞭分析和計算.
수도효응전감기시일충령민도흔고적위이전감기,기원리이경피용우미가속도계화홍외전감기적설계.문중개소료기우저일원리적미형자강계,대전감기적고유빈솔화구동전압진행료분석화계산.
