核技术
覈技術
핵기술
NUCLEAR TECHNIQUES
2000年
9期
593-598
,共6页
陈景升%俞国庆%潘浩昌%朱德彰%徐洪杰%郑志豪%阎逢元
陳景升%俞國慶%潘浩昌%硃德彰%徐洪傑%鄭誌豪%閻逢元
진경승%유국경%반호창%주덕창%서홍걸%정지호%염봉원
荷能团簇%结构%形貌%摩擦学性能
荷能糰簇%結構%形貌%摩抆學性能
하능단족%결구%형모%마찰학성능
在室温下,以硅(100)为衬底,在不同的衬底偏压(即团簇不同碰撞能量]的条件下,用荷能团簇碰撞沉积方法制备了TiN薄膜.用原子力显微镜和X射线衍射等技术对TiN薄膜的表面形貌和结构进行了研究,并且在维式硬度计和SRV微动摩擦磨损试验机上对其摩擦学性能进行了考察.结果表明,在低的偏压情况下,团簇比较松散地堆积在衬底上;而在高偏压时团簇和衬底碰撞破碎,形成附着力强、致密性好及表面非常光滑的薄膜;在一定的偏压范围内,TiN薄膜是(220)择优取向,TiN薄膜具有较高的硬度、较低的摩擦系数和较好的耐磨损性能.
在室溫下,以硅(100)為襯底,在不同的襯底偏壓(即糰簇不同踫撞能量]的條件下,用荷能糰簇踫撞沉積方法製備瞭TiN薄膜.用原子力顯微鏡和X射線衍射等技術對TiN薄膜的錶麵形貌和結構進行瞭研究,併且在維式硬度計和SRV微動摩抆磨損試驗機上對其摩抆學性能進行瞭攷察.結果錶明,在低的偏壓情況下,糰簇比較鬆散地堆積在襯底上;而在高偏壓時糰簇和襯底踫撞破碎,形成附著力彊、緻密性好及錶麵非常光滑的薄膜;在一定的偏壓範圍內,TiN薄膜是(220)擇優取嚮,TiN薄膜具有較高的硬度、較低的摩抆繫數和較好的耐磨損性能.
재실온하,이규(100)위츤저,재불동적츤저편압(즉단족불동팽당능량]적조건하,용하능단족팽당침적방법제비료TiN박막.용원자력현미경화X사선연사등기술대TiN박막적표면형모화결구진행료연구,병차재유식경도계화SRV미동마찰마손시험궤상대기마찰학성능진행료고찰.결과표명,재저적편압정황하,단족비교송산지퇴적재츤저상;이재고편압시단족화츤저팽당파쇄,형성부착력강、치밀성호급표면비상광활적박막;재일정적편압범위내,TiN박막시(220)택우취향,TiN박막구유교고적경도、교저적마찰계수화교호적내마손성능.
