冷等离子体对硅-锗纯化的实验研究
랭등리자체대규-타순화적실험연구
An experimental study of Si-Ge purified by cold plasma
  • 万方数据
    广西工学院学报 엄서공학원학보
    JOURNAL OF GUANGXI UNIVERSITY OF TECHNOLOGY
    2000年 4期 26-28,32 ,共4页

    陶甫廷%王敬义%冯信华%陶臻宇%张巍%陈文辉%苏庆平%何笑明

    도보정%왕경의%풍신화%도진우%장외%진문휘%소경평%하소명

    硅-锗纯化%冷等离子体%表面反应 硅-鍺純化%冷等離子體%錶麵反應
    규-타순화%랭등리자체%표면반응
    本文通过实验证实了冷等离子体对硅-锗粉末的纯化作用,并探索了放电电流、放电时间、加热温度、反应器内总压力等参数对纯化效果的影响.从而为工业应用打下一定基础.
    본문통과실험증실료랭등리자체대규-타분말적순화작용,병탐색료방전전류、방전시간、가열온도、반응기내총압력등삼수대순화효과적영향.종이위공업응용타하일정기출.
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