真空
真空
진공
VACUUM
2003年
3期
38-42
,共5页
陈娉%陈旭%金奇计%查良镇
陳娉%陳旭%金奇計%查良鎮
진빙%진욱%금기계%사량진
超灵敏度%质谱检漏%累积模式%动态模式
超靈敏度%質譜檢漏%纍積模式%動態模式
초령민도%질보검루%루적모식%동태모식
为适应对真空及压力器件密封性日益增长的要求,尤其是确保小体积密封真空器件的长期可靠性,研制了一套超灵敏度检漏系统.这套全金属的超高真空系统主要由分子泵、离子泵、无油前级泵、消气剂泵和高性能的四极质谱计等组成,由于采用了现代先进的真空技术,仅在几个小时内就可达到10-6 Pa的工作压强.该系统有两种检漏模式,累积模式用于漏率小于5×10-12 Pa*m3/s 漏孔的检漏,更大的漏率则用动态检漏模式.实验结果表明该系统的最小可检漏率可达1×10-15 Pa*m3/s.
為適應對真空及壓力器件密封性日益增長的要求,尤其是確保小體積密封真空器件的長期可靠性,研製瞭一套超靈敏度檢漏繫統.這套全金屬的超高真空繫統主要由分子泵、離子泵、無油前級泵、消氣劑泵和高性能的四極質譜計等組成,由于採用瞭現代先進的真空技術,僅在幾箇小時內就可達到10-6 Pa的工作壓彊.該繫統有兩種檢漏模式,纍積模式用于漏率小于5×10-12 Pa*m3/s 漏孔的檢漏,更大的漏率則用動態檢漏模式.實驗結果錶明該繫統的最小可檢漏率可達1×10-15 Pa*m3/s.
위괄응대진공급압력기건밀봉성일익증장적요구,우기시학보소체적밀봉진공기건적장기가고성,연제료일투초령민도검루계통.저투전금속적초고진공계통주요유분자빙、리자빙、무유전급빙、소기제빙화고성능적사겁질보계등조성,유우채용료현대선진적진공기술,부재궤개소시내취가체도10-6 Pa적공작압강.해계통유량충검루모식,루적모식용우루솔소우5×10-12 Pa*m3/s 루공적검루,경대적루솔칙용동태검루모식.실험결과표명해계통적최소가검루솔가체1×10-15 Pa*m3/s.
