真空
真空
진공
VACUUM
2002年
5期
19-23
,共5页
激光测距%光学屏蔽%膜系
激光測距%光學屏蔽%膜繫
격광측거%광학병폐%막계
针对激光测距系统中光路成像受电磁波干扰影响测量质量的问题,本文分析比较了金属光学薄膜与ITO薄膜的光学屏蔽特性.采用磁控反应溅射的方法在关键光学零件表面制备了ITO膜,经过性能测试表明:ITO膜可以满足现代激光测距的光路屏蔽要求.
針對激光測距繫統中光路成像受電磁波榦擾影響測量質量的問題,本文分析比較瞭金屬光學薄膜與ITO薄膜的光學屏蔽特性.採用磁控反應濺射的方法在關鍵光學零件錶麵製備瞭ITO膜,經過性能測試錶明:ITO膜可以滿足現代激光測距的光路屏蔽要求.
침대격광측거계통중광로성상수전자파간우영향측량질량적문제,본문분석비교료금속광학박막여ITO박막적광학병폐특성.채용자공반응천사적방법재관건광학령건표면제비료ITO막,경과성능측시표명:ITO막가이만족현대격광측거적광로병폐요구.