核聚变与等离子体物理
覈聚變與等離子體物理
핵취변여등리자체물리
NUCLEAR FUSION AND PLASMA PHYSICS
2002年
4期
243-248
,共6页
邹学平%李国卿%丁振峰%张家良%牟宗信%关秉羽
鄒學平%李國卿%丁振峰%張傢良%牟宗信%關秉羽
추학평%리국경%정진봉%장가량%모종신%관병우
阴极弧%基片台悬浮电位%等离子体电位%复合探针%基片偏压
陰極弧%基片檯懸浮電位%等離子體電位%複閤探針%基片偏壓
음겁호%기편태현부전위%등리자체전위%복합탐침%기편편압
通过测量脉冲磁过滤阴极弧等离子体沉积系统中的基片台悬浮电位,发现了弧源接地方式对基片台悬浮电位与等离子体电位影响很大.当阳极接地时基片台悬浮电位可达-60V,而弧源悬浮时却只有-5V.因此,要获得相似沉积条件的沉积薄膜,弧源接地方式不同,给基片施加偏压也应有所不同.
通過測量脈遲磁過濾陰極弧等離子體沉積繫統中的基片檯懸浮電位,髮現瞭弧源接地方式對基片檯懸浮電位與等離子體電位影響很大.噹暘極接地時基片檯懸浮電位可達-60V,而弧源懸浮時卻隻有-5V.因此,要穫得相似沉積條件的沉積薄膜,弧源接地方式不同,給基片施加偏壓也應有所不同.
통과측량맥충자과려음겁호등리자체침적계통중적기편태현부전위,발현료호원접지방식대기편태현부전위여등리자체전위영향흔대.당양겁접지시기편태현부전위가체-60V,이호원현부시각지유-5V.인차,요획득상사침적조건적침적박막,호원접지방식불동,급기편시가편압야응유소불동.
