CAJ | 학술논문

介绍了一种新型的在钢铁基体上制备钽薄膜的方法. 该方法用网状钽片作阴极, 它既是放电气体的离解源, 又是沉积钽膜的钽离子供给源, 其设备简单、价格低廉. 实验中发现, 在各个参数配比合适的条件下, 可制备出结构为bcc(体心立方)和tetragonal(四方晶系)的钽薄膜. 薄膜较致密且均匀, 与基体的结合好. 同时分析了在最佳工艺参数条件下合成钽膜的组织结构、表面和断口形貌、结合力等.
개소료일충신형적재강철기체상제비단박막적방법. 해방법용망상단편작음겁, 타기시방전기체적리해원, 우시침적단막적단리자공급원, 기설비간단、개격저렴. 실험중발현, 재각개삼수배비합괄적조건하, 가제비출결구위bcc(체심립방)화tetragonal(사방정계)적단박막. 박막교치밀차균균, 여기체적결합호. 동시분석료재최가공예삼수조건하합성단막적조직결구、표면화단구형모、결합력등.