中国表面工程
中國錶麵工程
중국표면공정
CHINA SURFACE ENGINEERING
2002年
2期
11-15，20
,共6页
张涛%侯君达%刘志国%张一聪
張濤%侯君達%劉誌國%張一聰
장도%후군체%류지국%장일총
阴极弧等离子体%扩散%薄膜
陰極弧等離子體%擴散%薄膜
음겁호등리자체%확산%박막
采用磁过滤弯管滤除阴极弧等离子体中的大颗粒,研究了偏压和导向磁场对磁过滤弯管传输效率的影响.建立了磁过滤弯管中正交电场和磁场下的等离子体扩散模型,分析各个参数对等离子体传输的作用规律.采用磁过滤的阴极弧等离子体源制备了NbN膜,研究了沉积温度对膜层特性的影响.
採用磁過濾彎管濾除陰極弧等離子體中的大顆粒,研究瞭偏壓和導嚮磁場對磁過濾彎管傳輸效率的影響.建立瞭磁過濾彎管中正交電場和磁場下的等離子體擴散模型,分析各箇參數對等離子體傳輸的作用規律.採用磁過濾的陰極弧等離子體源製備瞭NbN膜,研究瞭沉積溫度對膜層特性的影響.
채용자과려만관려제음겁호등리자체중적대과립,연구료편압화도향자장대자과려만관전수효솔적영향.건립료자과려만관중정교전장화자장하적등리자체확산모형,분석각개삼수대등리자체전수적작용규률.채용자과려적음겁호등리자체원제비료NbN막,연구료침적온도대막층특성적영향.
