西北工业大学学报
西北工業大學學報
서북공업대학학보
JOURNAL OF NORTHWESTERN POLYTECHNICAL UNIVERSITY
2002年
1期
141-144
,共4页
宋建全%刘正堂%于忠奇%耿东生%郑修麟
宋建全%劉正堂%于忠奇%耿東生%鄭脩麟
송건전%류정당%우충기%경동생%정수린
磁控溅射%头罩%膜厚均匀性%模拟
磁控濺射%頭罩%膜厚均勻性%模擬
자공천사%두조%막후균균성%모의
尽管有很多模型对平面磁控溅射膜厚分布进行了模拟,但对大面积曲面如半球形的头罩膜厚分布的模拟则没有涉及.本文根据磁控溅射球冠形基片上膜厚分布规律出发,分析了几个可能实现头罩均匀镀膜的模型,并对不同的模型进行了计算机模拟,找出了实现头罩均匀镀膜的最佳方式,并得到了实验验证.
儘管有很多模型對平麵磁控濺射膜厚分佈進行瞭模擬,但對大麵積麯麵如半毬形的頭罩膜厚分佈的模擬則沒有涉及.本文根據磁控濺射毬冠形基片上膜厚分佈規律齣髮,分析瞭幾箇可能實現頭罩均勻鍍膜的模型,併對不同的模型進行瞭計算機模擬,找齣瞭實現頭罩均勻鍍膜的最佳方式,併得到瞭實驗驗證.
진관유흔다모형대평면자공천사막후분포진행료모의,단대대면적곡면여반구형적두조막후분포적모의칙몰유섭급.본문근거자공천사구관형기편상막후분포규률출발,분석료궤개가능실현두조균균도막적모형,병대불동적모형진행료계산궤모의,조출료실현두조균균도막적최가방식,병득도료실험험증.
