辽宁化工
遼寧化工
료녕화공
LIAONING CHEMICAL INDUSTRY
2003年
12期
525-528
,共4页
Sol-Gel法%SiO2膜%膜制备%正硅酸乙脂
Sol-Gel法%SiO2膜%膜製備%正硅痠乙脂
Sol-Gel법%SiO2막%막제비%정규산을지
叙述了Sol-Gel法制备SiO2膜的原理以及工艺;举例说明了近些年来SiO2膜的制备进展,讨论了SiO2膜制备过程的影响因素;进而指出了采用Sol-Gel制备SiO2膜存在的问题.为SiO2膜的制备提供参考.
敘述瞭Sol-Gel法製備SiO2膜的原理以及工藝;舉例說明瞭近些年來SiO2膜的製備進展,討論瞭SiO2膜製備過程的影響因素;進而指齣瞭採用Sol-Gel製備SiO2膜存在的問題.為SiO2膜的製備提供參攷.
서술료Sol-Gel법제비SiO2막적원리이급공예;거례설명료근사년래SiO2막적제비진전,토론료SiO2막제비과정적영향인소;진이지출료채용Sol-Gel제비SiO2막존재적문제.위SiO2막적제비제공삼고.
