硅酸盐学报
硅痠鹽學報
규산염학보
JOURNAL OF THE CHINESE CERAMIC SOCIETY
2005年
3期
299-303
,共5页
贺永宁%朱长纯%候洵%杨晓东
賀永寧%硃長純%候洵%楊曉東
하영저%주장순%후순%양효동
氧化锌陶瓷靶材%激光分子束外延%脉冲激光辐照效应
氧化鋅陶瓷靶材%激光分子束外延%脈遲激光輻照效應
양화자도자파재%격광분자속외연%맥충격광복조효응
由改进的电子陶瓷工艺制备了ZnO(99.99%)高纯陶瓷靶材.用激光分子束外延(laser molecular beam epitaxy,L-MBE))工艺,采用这种靶材在蓝宝石基片上较低温度下生长了高结晶质量的ZnO半导体光电子薄膜.研究了ZnO高纯陶瓷靶材的烧结机理、微观结构及形貌,认为靶材的后期烧结速率主要决定于氧空位扩散机制.根据辐照后靶材的电镜分析结果,对L-MBE工艺中靶材表面与脉冲激光相互作用过程中等离子体羽辉的形成过程及其动力学特征进行了研究,认为该等离子体羽辉是激光支持的燃烧波,其波前传播速度为亚声速并且沿靶材法线方向,粒子的动力学特征使得L MBE工艺适于ZnO薄膜的二维平面生长.
由改進的電子陶瓷工藝製備瞭ZnO(99.99%)高純陶瓷靶材.用激光分子束外延(laser molecular beam epitaxy,L-MBE))工藝,採用這種靶材在藍寶石基片上較低溫度下生長瞭高結晶質量的ZnO半導體光電子薄膜.研究瞭ZnO高純陶瓷靶材的燒結機理、微觀結構及形貌,認為靶材的後期燒結速率主要決定于氧空位擴散機製.根據輻照後靶材的電鏡分析結果,對L-MBE工藝中靶材錶麵與脈遲激光相互作用過程中等離子體羽輝的形成過程及其動力學特徵進行瞭研究,認為該等離子體羽輝是激光支持的燃燒波,其波前傳播速度為亞聲速併且沿靶材法線方嚮,粒子的動力學特徵使得L MBE工藝適于ZnO薄膜的二維平麵生長.
유개진적전자도자공예제비료ZnO(99.99%)고순도자파재.용격광분자속외연(laser molecular beam epitaxy,L-MBE))공예,채용저충파재재람보석기편상교저온도하생장료고결정질량적ZnO반도체광전자박막.연구료ZnO고순도자파재적소결궤리、미관결구급형모,인위파재적후기소결속솔주요결정우양공위확산궤제.근거복조후파재적전경분석결과,대L-MBE공예중파재표면여맥충격광상호작용과정중등리자체우휘적형성과정급기동역학특정진행료연구,인위해등리자체우휘시격광지지적연소파,기파전전파속도위아성속병차연파재법선방향,입자적동역학특정사득L MBE공예괄우ZnO박막적이유평면생장.
