中国电机工程学报
中國電機工程學報
중국전궤공정학보
ZHONGGUO DIANJI GONGCHENG XUEBAO
2007年
3期
89-94
,共6页
赵本刚%徐静%高翔%刘玉菲%吴亚明
趙本剛%徐靜%高翔%劉玉菲%吳亞明
조본강%서정%고상%류옥비%오아명
光学电流传感器%微电子机械系统%扭转微镜%温度补偿%耦合损耗
光學電流傳感器%微電子機械繫統%扭轉微鏡%溫度補償%耦閤損耗
광학전류전감기%미전자궤계계통%뉴전미경%온도보상%우합손모
光学电流传感器解决了传统电流互感器的缺点,但仍然存在生产困难、性能易受环境温度影响等不足,MEMS作为一种新兴技术,可批量生产各种性能良好的微电子器件,该文提出了将MEMS技术用于检测高压交流电的光学电流传感器.高压侧的传感装置由Rogowski线圈、MEMS扭转微镜和双光纤准直器组成.文中介绍了器件的高压侧敏感原理和光学检出原理,给出了器件的结构参数条件、模态分析和温度补偿结果,并利用ANSYS与Matlab软件对器件的性能进行了仿真模拟和分析.理论结果表明:温度补偿后,温度变化±50K时测试误差为0.2%,400A、2000A电流下的灵敏度分别为0.001dB/A与0.09dB/A,说明了基于MEMS技术的光学电流传感器具有一定的研究价值.
光學電流傳感器解決瞭傳統電流互感器的缺點,但仍然存在生產睏難、性能易受環境溫度影響等不足,MEMS作為一種新興技術,可批量生產各種性能良好的微電子器件,該文提齣瞭將MEMS技術用于檢測高壓交流電的光學電流傳感器.高壓側的傳感裝置由Rogowski線圈、MEMS扭轉微鏡和雙光纖準直器組成.文中介紹瞭器件的高壓側敏感原理和光學檢齣原理,給齣瞭器件的結構參數條件、模態分析和溫度補償結果,併利用ANSYS與Matlab軟件對器件的性能進行瞭倣真模擬和分析.理論結果錶明:溫度補償後,溫度變化±50K時測試誤差為0.2%,400A、2000A電流下的靈敏度分彆為0.001dB/A與0.09dB/A,說明瞭基于MEMS技術的光學電流傳感器具有一定的研究價值.
광학전류전감기해결료전통전류호감기적결점,단잉연존재생산곤난、성능역수배경온도영향등불족,MEMS작위일충신흥기술,가비량생산각충성능량호적미전자기건,해문제출료장MEMS기술용우검측고압교류전적광학전류전감기.고압측적전감장치유Rogowski선권、MEMS뉴전미경화쌍광섬준직기조성.문중개소료기건적고압측민감원리화광학검출원리,급출료기건적결구삼수조건、모태분석화온도보상결과,병이용ANSYS여Matlab연건대기건적성능진행료방진모의화분석.이론결과표명:온도보상후,온도변화±50K시측시오차위0.2%,400A、2000A전류하적령민도분별위0.001dB/A여0.09dB/A,설명료기우MEMS기술적광학전류전감기구유일정적연구개치.
