CAJ | 학술논문

本文提出了一种简易、低成本的钨丝微电极阵列制作工艺和方法.该方法采用MEMS工艺制作的玻璃模具实现钨丝阵列的精密有序排列,同时,在钨丝电极表面涂覆一层光敏性的聚酰亚胺作为绝缘层,结合"双面光刻"技术和电化学腐蚀技术实现电极位点大小和电极丝几何尺寸的精确控制.最后,通过注模、光刻制作SU-8固定座体完成钨丝微电极阵列的组装固定.整个制作工艺简单快速,且玻璃模具可重复使用,大大降低了制作成本.此外,本文还测试和评价了所制作微电极的表面形貌、电学性能以及生物相容性.
본문제출료일충간역、저성본적오사미전겁진렬제작공예화방법.해방법채용MEMS공예제작적파리모구실현오사진렬적정밀유서배렬,동시,재오사전겁표면도복일층광민성적취선아알작위절연층,결합"쌍면광각"기술화전화학부식기술실현전겁위점대소화전겁사궤하척촌적정학공제.최후,통과주모、광각제작SU-8고정좌체완성오사미전겁진렬적조장고정.정개제작공예간단쾌속,차파리모구가중복사용,대대강저료제작성본.차외,본문환측시화평개료소제작미전겁적표면형모、전학성능이급생물상용성.