真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2010年
4期
409-413
,共5页
仲雪飞%张雄%尹涵春%雷威%王保平
仲雪飛%張雄%尹涵春%雷威%王保平
중설비%장웅%윤함춘%뢰위%왕보평
后栅极%场发射显示%厚膜工艺%测试
後柵極%場髮射顯示%厚膜工藝%測試
후책겁%장발사현시%후막공예%측시
讨论了包括丝网印刷、厚膜光刻、荧光粉沉积成膜、喷涂等厚膜工艺以及后栅极结构场致发射显示屏的制备工艺.研究了老炼工艺对阴极发射特性的改善.采用全厚膜工艺制备了2英寸后栅极场发射显示板样屏,在阳极距为1mm的后栅极结构中,阳极工作电压为2 kV时,通过对样屏的测试分析,阴极开关范围差小于100 V,达到了行列低压寻址驱动的要求,验证了全厚膜制备后栅极场发射显示板的可行性.
討論瞭包括絲網印刷、厚膜光刻、熒光粉沉積成膜、噴塗等厚膜工藝以及後柵極結構場緻髮射顯示屏的製備工藝.研究瞭老煉工藝對陰極髮射特性的改善.採用全厚膜工藝製備瞭2英吋後柵極場髮射顯示闆樣屏,在暘極距為1mm的後柵極結構中,暘極工作電壓為2 kV時,通過對樣屏的測試分析,陰極開關範圍差小于100 V,達到瞭行列低壓尋阯驅動的要求,驗證瞭全厚膜製備後柵極場髮射顯示闆的可行性.
토론료포괄사망인쇄、후막광각、형광분침적성막、분도등후막공예이급후책겁결구장치발사현시병적제비공예.연구료노련공예대음겁발사특성적개선.채용전후막공예제비료2영촌후책겁장발사현시판양병,재양겁거위1mm적후책겁결구중,양겁공작전압위2 kV시,통과대양병적측시분석,음겁개관범위차소우100 V,체도료행렬저압심지구동적요구,험증료전후막제비후책겁장발사현시판적가행성.
