机械设计与制造
機械設計與製造
궤계설계여제조
MACHINERY DESIGN & MANUFACTURE
2011年
2期
177-179
,共3页
郝欣妮%许晓静%陈丹%于春杭%邵红红%程晓农
郝訢妮%許曉靜%陳丹%于春杭%邵紅紅%程曉農
학흔니%허효정%진단%우춘항%소홍홍%정효농
SiC薄膜%磁控溅射%摩擦磨损性能%承载能力%模拟体液
SiC薄膜%磁控濺射%摩抆磨損性能%承載能力%模擬體液
SiC박막%자공천사%마찰마손성능%승재능력%모의체액
采用室温磁控溅射技术在金属钛表面制备出碳化硅(SiC)薄膜.研究了SiC薄膜的组织结构、纳米压痕行为和摩擦磨损性能.实验结果表明:SiC薄膜呈非晶态,含有较多Si-C键;膜-基间结合很好,具有明显的且呈梯度的相互元素扩散;薄膜的硬度(H)为12.1 GPa,杨氏弹性模量(E)为166.2 GPa,硬度与弹性模量比值(H/E)为0.073;在以氮化硅球为对摩件,初始Hertzian接触应力约为685～930 MPa的室温Kokubo人体模拟体液条件下,其磨损速率在10-5 mm3/Nm级,摩擦系数约为0.215,且不出现薄膜的破裂及剥落现象.分析表明,该薄膜在高载荷下仍具有很好的摩擦磨损性能,其因为是薄膜具有高的韧性和很好的界面结合;高的韧性与H及H/E相对较低有关,而好的界面结合与膜-基间弹性模量的差值较小有关.
採用室溫磁控濺射技術在金屬鈦錶麵製備齣碳化硅(SiC)薄膜.研究瞭SiC薄膜的組織結構、納米壓痕行為和摩抆磨損性能.實驗結果錶明:SiC薄膜呈非晶態,含有較多Si-C鍵;膜-基間結閤很好,具有明顯的且呈梯度的相互元素擴散;薄膜的硬度(H)為12.1 GPa,楊氏彈性模量(E)為166.2 GPa,硬度與彈性模量比值(H/E)為0.073;在以氮化硅毬為對摩件,初始Hertzian接觸應力約為685～930 MPa的室溫Kokubo人體模擬體液條件下,其磨損速率在10-5 mm3/Nm級,摩抆繫數約為0.215,且不齣現薄膜的破裂及剝落現象.分析錶明,該薄膜在高載荷下仍具有很好的摩抆磨損性能,其因為是薄膜具有高的韌性和很好的界麵結閤;高的韌性與H及H/E相對較低有關,而好的界麵結閤與膜-基間彈性模量的差值較小有關.
채용실온자공천사기술재금속태표면제비출탄화규(SiC)박막.연구료SiC박막적조직결구、납미압흔행위화마찰마손성능.실험결과표명:SiC박막정비정태,함유교다Si-C건;막-기간결합흔호,구유명현적차정제도적상호원소확산;박막적경도(H)위12.1 GPa,양씨탄성모량(E)위166.2 GPa,경도여탄성모량비치(H/E)위0.073;재이담화규구위대마건,초시Hertzian접촉응력약위685～930 MPa적실온Kokubo인체모의체액조건하,기마손속솔재10-5 mm3/Nm급,마찰계수약위0.215,차불출현박막적파렬급박락현상.분석표명,해박막재고재하하잉구유흔호적마찰마손성능,기인위시박막구유고적인성화흔호적계면결합;고적인성여H급H/E상대교저유관,이호적계면결합여막-기간탄성모량적차치교소유관.
