光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2011年
4期
737-742
,共6页
紫外-可见光谱仪%杂散光%滤光片%微硅狭缝
紫外-可見光譜儀%雜散光%濾光片%微硅狹縫
자외-가견광보의%잡산광%려광편%미규협봉
采用MEMS技术,研制了一种基于微硅狭缝的紫外-可见光谱仪.介绍了该光谱仪的系统组成,分析了其杂散光的产生原因,着重讨论了光谱仪的关键部件-微硅狭缝的直线度、厚度与杂散光之间的关系,并对狭缝直线度产生的杂散光进行了实验验证.针对以卤钨灯为光源的紫外-可见光谱仪进行测量时,紫外部分能量低,杂散光严重的问题,提出一种组合滤光片法,通过在入射狭缝前和探测器前增加双重滤光片,平衡紫外-可见光范围内各谱段的光波强度,抑制紫外波长处杂散光的影响.实验结果表明:采用组合滤光片法抑制杂散光后,杂散光降低为抑制前的23%.
採用MEMS技術,研製瞭一種基于微硅狹縫的紫外-可見光譜儀.介紹瞭該光譜儀的繫統組成,分析瞭其雜散光的產生原因,著重討論瞭光譜儀的關鍵部件-微硅狹縫的直線度、厚度與雜散光之間的關繫,併對狹縫直線度產生的雜散光進行瞭實驗驗證.針對以滷鎢燈為光源的紫外-可見光譜儀進行測量時,紫外部分能量低,雜散光嚴重的問題,提齣一種組閤濾光片法,通過在入射狹縫前和探測器前增加雙重濾光片,平衡紫外-可見光範圍內各譜段的光波彊度,抑製紫外波長處雜散光的影響.實驗結果錶明:採用組閤濾光片法抑製雜散光後,雜散光降低為抑製前的23%.
채용MEMS기술,연제료일충기우미규협봉적자외-가견광보의.개소료해광보의적계통조성,분석료기잡산광적산생원인,착중토론료광보의적관건부건-미규협봉적직선도、후도여잡산광지간적관계,병대협봉직선도산생적잡산광진행료실험험증.침대이서오등위광원적자외-가견광보의진행측량시,자외부분능량저,잡산광엄중적문제,제출일충조합려광편법,통과재입사협봉전화탐측기전증가쌍중려광편,평형자외-가견광범위내각보단적광파강도,억제자외파장처잡산광적영향.실험결과표명:채용조합려광편법억제잡산광후,잡산광강저위억제전적23%.
