广西轻工业
廣西輕工業
엄서경공업
GUANGXI LIGHT INDUSTRY
2011年
8期
38-39
,共2页
微纳米热压印%刚性模具%微透镜阵列
微納米熱壓印%剛性模具%微透鏡陣列
미납미열압인%강성모구%미투경진렬
介绍了刚性模具微纳米热压印技术及研究现状,采用了自主研制的微纳米压印样机与飞秒激光刻蚀的SiO2模板在PMMA表面压印出微透镜阵列,并分析了压印过程中对微透镜阵列表面形貌影响的各种因数,提出了解决方法。
介紹瞭剛性模具微納米熱壓印技術及研究現狀,採用瞭自主研製的微納米壓印樣機與飛秒激光刻蝕的SiO2模闆在PMMA錶麵壓印齣微透鏡陣列,併分析瞭壓印過程中對微透鏡陣列錶麵形貌影響的各種因數,提齣瞭解決方法。
개소료강성모구미납미열압인기술급연구현상,채용료자주연제적미납미압인양궤여비초격광각식적SiO2모판재PMMA표면압인출미투경진렬,병분석료압인과정중대미투경진렬표면형모영향적각충인수,제출료해결방법。
