电子元件与材料
電子元件與材料
전자원건여재료
ELECTRONIC COMPONENTS & MATERIALS
2005年
5期
40-42
,共3页
陈富贵%杨成韬%刘敬松%田召明%彭家根%张树人
陳富貴%楊成韜%劉敬鬆%田召明%彭傢根%張樹人
진부귀%양성도%류경송%전소명%팽가근%장수인
无机非金属材料%锆钛酸铅铁电薄膜%印迹%矫顽电压%界面层
無機非金屬材料%鋯鈦痠鉛鐵電薄膜%印跡%矯頑電壓%界麵層
무궤비금속재료%고태산연철전박막%인적%교완전압%계면층
印迹(Imprint)是造成铁电存储器失效的一个重要因素,通过分析不同厚度的PZT薄膜电容的界面层后认为,造成印迹的原因是上下电极与铁电薄膜之间界面层厚度的不同,导致了铁电薄膜表面极化钉扎状态的差异.矫顽电压偏移量对铁电薄膜的厚度依赖性,以及矫顽电压的偏移量随时间变化规律,很好地证实了笔者的设想.
印跡(Imprint)是造成鐵電存儲器失效的一箇重要因素,通過分析不同厚度的PZT薄膜電容的界麵層後認為,造成印跡的原因是上下電極與鐵電薄膜之間界麵層厚度的不同,導緻瞭鐵電薄膜錶麵極化釘扎狀態的差異.矯頑電壓偏移量對鐵電薄膜的厚度依賴性,以及矯頑電壓的偏移量隨時間變化規律,很好地證實瞭筆者的設想.
인적(Imprint)시조성철전존저기실효적일개중요인소,통과분석불동후도적PZT박막전용적계면층후인위,조성인적적원인시상하전겁여철전박막지간계면층후도적불동,도치료철전박막표면겁화정찰상태적차이.교완전압편이량대철전박막적후도의뢰성,이급교완전압적편이량수시간변화규률,흔호지증실료필자적설상.
