物理学报
物理學報
물이학보
2006年
1期
424-429
,共6页
薄膜生长%非均匀基底%动力学蒙特卡罗模拟
薄膜生長%非均勻基底%動力學矇特卡囉模擬
박막생장%비균균기저%동역학몽특잡라모의
考虑原子在基底表面的扩散、沿岛周界的扩散和不同层间的扩散以及非均匀基底上表面吸附能分布的各向异性,建立起非均匀基底表面上原子扩散和三维薄膜生长的动力学蒙特卡罗模型.模拟得到在不同生长条件下出现的层状生长、岛状生长和混合生长三种生长模式和相应的多层薄膜生长形貌图.通过统计三维薄膜中原子在各层的分布,计算薄膜的表面粗糙度,得到薄膜生长模式与生长条件之间的关系.
攷慮原子在基底錶麵的擴散、沿島週界的擴散和不同層間的擴散以及非均勻基底上錶麵吸附能分佈的各嚮異性,建立起非均勻基底錶麵上原子擴散和三維薄膜生長的動力學矇特卡囉模型.模擬得到在不同生長條件下齣現的層狀生長、島狀生長和混閤生長三種生長模式和相應的多層薄膜生長形貌圖.通過統計三維薄膜中原子在各層的分佈,計算薄膜的錶麵粗糙度,得到薄膜生長模式與生長條件之間的關繫.
고필원자재기저표면적확산、연도주계적확산화불동층간적확산이급비균균기저상표면흡부능분포적각향이성,건립기비균균기저표면상원자확산화삼유박막생장적동역학몽특잡라모형.모의득도재불동생장조건하출현적층상생장、도상생장화혼합생장삼충생장모식화상응적다층박막생장형모도.통과통계삼유박막중원자재각층적분포,계산박막적표면조조도,득도박막생장모식여생장조건지간적관계.
