西安工业大学学报
西安工業大學學報
서안공업대학학보
JOURNAL OF XI'AN TECHNOLOGICAL UNIVERSITY
2006年
4期
316-320
,共5页
直线位移工作台%导轨%运动误差%光学原理%灵敏度
直線位移工作檯%導軌%運動誤差%光學原理%靈敏度
직선위이공작태%도궤%운동오차%광학원리%령민도
为了减小直线位移工作台的导轨运动误差,研究了一种基于光学原理,采用四象限光电探测器,通过计算机系统对工作台产生的导轨运动误差进行自动补偿的方法.根据补偿原理,构建了误差补偿数学模型,分析了光学系统的参数和系统输出特性之间的关系,并通过实验,阐述了影响补偿系统灵敏度的相关因素.实验表明该方法能够实现优于0.24 V/μm的灵敏度,补偿精度可达到0.4 %.这种方法能够有效地提高直线位移工作台的工作精度,对行程小于100 mm的直线位移工作台具有一定的推广价值.
為瞭減小直線位移工作檯的導軌運動誤差,研究瞭一種基于光學原理,採用四象限光電探測器,通過計算機繫統對工作檯產生的導軌運動誤差進行自動補償的方法.根據補償原理,構建瞭誤差補償數學模型,分析瞭光學繫統的參數和繫統輸齣特性之間的關繫,併通過實驗,闡述瞭影響補償繫統靈敏度的相關因素.實驗錶明該方法能夠實現優于0.24 V/μm的靈敏度,補償精度可達到0.4 %.這種方法能夠有效地提高直線位移工作檯的工作精度,對行程小于100 mm的直線位移工作檯具有一定的推廣價值.
위료감소직선위이공작태적도궤운동오차,연구료일충기우광학원리,채용사상한광전탐측기,통과계산궤계통대공작태산생적도궤운동오차진행자동보상적방법.근거보상원리,구건료오차보상수학모형,분석료광학계통적삼수화계통수출특성지간적관계,병통과실험,천술료영향보상계통령민도적상관인소.실험표명해방법능구실현우우0.24 V/μm적령민도,보상정도가체도0.4 %.저충방법능구유효지제고직선위이공작태적공작정도,대행정소우100 mm적직선위이공작태구유일정적추엄개치.
