红外技术
紅外技術
홍외기술
INFRARED TECHNOLOGY
2006年
5期
293-298
,共6页
杜瓦%排气%残气成分
杜瓦%排氣%殘氣成分
두와%배기%잔기성분
实验研究用四极质谱仪对金属杜瓦排气进行长期动态监测,跟踪内部主要气体成分的分压强的大小变化,得出排气工艺对杜瓦内表面放气量大小的影响,介绍了实验的原理、装置、方法、数据和干扰因素,对影响杜瓦真空度的主要气体成分进行了初步研究,提出改进杜瓦排气工艺的可能方向,对工艺处理具有实际意义.
實驗研究用四極質譜儀對金屬杜瓦排氣進行長期動態鑑測,跟蹤內部主要氣體成分的分壓彊的大小變化,得齣排氣工藝對杜瓦內錶麵放氣量大小的影響,介紹瞭實驗的原理、裝置、方法、數據和榦擾因素,對影響杜瓦真空度的主要氣體成分進行瞭初步研究,提齣改進杜瓦排氣工藝的可能方嚮,對工藝處理具有實際意義.
실험연구용사겁질보의대금속두와배기진행장기동태감측,근종내부주요기체성분적분압강적대소변화,득출배기공예대두와내표면방기량대소적영향,개소료실험적원리、장치、방법、수거화간우인소,대영향두와진공도적주요기체성분진행료초보연구,제출개진두와배기공예적가능방향,대공예처리구유실제의의.
