功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2007年
1期
91-92,96
,共3页
李金丽%邓宏%刘财坤%袁庆亮%韦敏
李金麗%鄧宏%劉財坤%袁慶亮%韋敏
리금려%산굉%류재곤%원경량%위민
AZO薄膜%X射线衍射%AFM%电阻率
AZO薄膜%X射線衍射%AFM%電阻率
AZO박막%X사선연사%AFM%전조솔
采用射频溅射方法在Si基片上制备出AZO掺杂薄膜,对薄膜进行了XRD和AFM分析,并对其电性能作了研究.结果表明,掺杂量低于15%(原子分数)时,AZO薄膜结构为纤锌矿结构,呈c轴方向择优生长,没有Al2O3相出现.薄膜的可见光透过率均在80%以上,其最高电阻率出现在掺杂量为30%(原子分数),为1.3×107 Ω·cm.
採用射頻濺射方法在Si基片上製備齣AZO摻雜薄膜,對薄膜進行瞭XRD和AFM分析,併對其電性能作瞭研究.結果錶明,摻雜量低于15%(原子分數)時,AZO薄膜結構為纖鋅礦結構,呈c軸方嚮擇優生長,沒有Al2O3相齣現.薄膜的可見光透過率均在80%以上,其最高電阻率齣現在摻雜量為30%(原子分數),為1.3×107 Ω·cm.
채용사빈천사방법재Si기편상제비출AZO참잡박막,대박막진행료XRD화AFM분석,병대기전성능작료연구.결과표명,참잡량저우15%(원자분수)시,AZO박막결구위섬자광결구,정c축방향택우생장,몰유Al2O3상출현.박막적가견광투과솔균재80%이상,기최고전조솔출현재참잡량위30%(원자분수),위1.3×107 Ω·cm.
