高精度硅微简谐振子的设计与制作工艺
고정도규미간해진자적설계여제작공예
Design and Fabrication Process of a Si-Based High Precision Harmonic Oscillator
  • 万方数据
    纳米技术与精密工程 납미기술여정밀공정
    NANOTECHNOLOGY AND PRECISION ENGINEERING
    2007年 2期 117-120 ,共4页

    恩德%魏建霞%徐可欣%童峥嵘%陈才和%崔宇明%斯琴%李超

    은덕%위건하%서가흔%동쟁영%진재화%최우명%사금%리초

    微光机电系统%简谐振子%优化设计%腐蚀 微光機電繫統%簡諧振子%優化設計%腐蝕
    미광궤전계통%간해진자%우화설계%부식
    介绍了MOEMS加速度地震检波器中敏感元件--简谐振子的工作和设计原理,并详细讨论了影响简谐振子腐蚀质量的因素.在实验中采用硅各向异性腐蚀法,制作出了高精度的硅微简谐振子.改进浓度配比的腐蚀液,在80℃时,腐蚀速率控制在(0.53±0.2)μm.测试结果表明:SiO2控制精度达到0.1μm,可应用于光电集成加速度地震检波器的集成光学器件中.
    개소료MOEMS가속도지진검파기중민감원건--간해진자적공작화설계원리,병상세토론료영향간해진자부식질량적인소.재실험중채용규각향이성부식법,제작출료고정도적규미간해진자.개진농도배비적부식액,재80℃시,부식속솔공제재(0.53±0.2)μm.측시결과표명:SiO2공제정도체도0.1μm,가응용우광전집성가속도지진검파기적집성광학기건중.
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