强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2007年
4期
633-637
,共5页
詹勇军%吴卫东%王锋%白黎%唐永建%谌家军
詹勇軍%吳衛東%王鋒%白黎%唐永建%諶傢軍
첨용군%오위동%왕봉%백려%당영건%심가군
脉冲激光沉积(PLD)%NaF薄膜%ICF靶%面心立方结构%反应激活能
脈遲激光沉積(PLD)%NaF薄膜%ICF靶%麵心立方結構%反應激活能
맥충격광침적(PLD)%NaF박막%ICF파%면심립방결구%반응격활능
采用脉冲激光沉积(PLD)方法在Si(100)衬底上制备了NaF薄膜.在激光重复频率2 Hz,能量密度3 J/cm2,本底真空度5×10-5 Pa的条件下,研究衬底温度对薄膜沉积速率及结构的影响.台阶仪分析表明:薄膜的沉积速率随衬底温度增加呈指数函数增加,算出NaF薄膜的反应激活能为48.67 kJ/mol.原子力显微镜分析表明:薄膜致密而光滑,均方根粗糙度为0.553 nm.扫描电镜截面微观形貌分析表明:薄膜呈现柱状结构.X射线衍射分析表明:NaF薄膜为面心立方晶体结构,并具有显著的择优取向;当衬底温度约为400 ℃时,平均晶粒尺寸最大(129.6 nm),晶格微应变最小(0.225%).
採用脈遲激光沉積(PLD)方法在Si(100)襯底上製備瞭NaF薄膜.在激光重複頻率2 Hz,能量密度3 J/cm2,本底真空度5×10-5 Pa的條件下,研究襯底溫度對薄膜沉積速率及結構的影響.檯階儀分析錶明:薄膜的沉積速率隨襯底溫度增加呈指數函數增加,算齣NaF薄膜的反應激活能為48.67 kJ/mol.原子力顯微鏡分析錶明:薄膜緻密而光滑,均方根粗糙度為0.553 nm.掃描電鏡截麵微觀形貌分析錶明:薄膜呈現柱狀結構.X射線衍射分析錶明:NaF薄膜為麵心立方晶體結構,併具有顯著的擇優取嚮;噹襯底溫度約為400 ℃時,平均晶粒呎吋最大(129.6 nm),晶格微應變最小(0.225%).
채용맥충격광침적(PLD)방법재Si(100)츤저상제비료NaF박막.재격광중복빈솔2 Hz,능량밀도3 J/cm2,본저진공도5×10-5 Pa적조건하,연구츤저온도대박막침적속솔급결구적영향.태계의분석표명:박막적침적속솔수츤저온도증가정지수함수증가,산출NaF박막적반응격활능위48.67 kJ/mol.원자력현미경분석표명:박막치밀이광활,균방근조조도위0.553 nm.소묘전경절면미관형모분석표명:박막정현주상결구.X사선연사분석표명:NaF박막위면심립방정체결구,병구유현저적택우취향;당츤저온도약위400 ℃시,평균정립척촌최대(129.6 nm),정격미응변최소(0.225%).
