PLD方法制备的超硬非晶碳薄膜研究
PLD방법제비적초경비정탄박막연구
Superhard amorphous carbon films fabricated by PLD
  • 万方数据
    强激光与粒子束 강격광여입자속
    HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
    2007年 10期 1649-1653 ,共5页

    王锋%吴卫东%詹勇军%李俊%李盛印%曹林洪%葛芳芳%唐永建%孙卫国

    왕봉%오위동%첨용군%리준%리성인%조림홍%갈방방%당영건%손위국

    脉冲激光沉积%非晶碳薄膜%硬度%弹性模量 脈遲激光沉積%非晶碳薄膜%硬度%彈性模量
    맥충격광침적%비정탄박막%경도%탄성모량
    用脉冲激光沉积在不同条件下制备非晶碳超硬薄膜,研究了非晶碳超硬薄膜的表面形貌、结构、应力、硬度以及能谱等.原子力显微镜和扫描电镜图像显示,薄膜表面平整、致密且光滑,均方根粗糙度最大为0.877 nm.在高激光重复频率、高激光通量条件下,薄膜有很大的应力,致使膜层褶皱甚至破裂,小角X射线衍射表明薄膜为非晶态且最大残余应力达30 GPa以上,但300 ℃温度的原位退火可以有效降低残余应力;纳米压痕测试表明薄膜硬度大于20 GPa,弹性模量大于200 GPa;X射线光电子能谱表明薄膜中sp3的含量在39%～53%之间变化,并且与激光通量成正比.
    용맥충격광침적재불동조건하제비비정탄초경박막,연구료비정탄초경박막적표면형모、결구、응력、경도이급능보등.원자력현미경화소묘전경도상현시,박막표면평정、치밀차광활,균방근조조도최대위0.877 nm.재고격광중복빈솔、고격광통량조건하,박막유흔대적응력,치사막층습추심지파렬,소각X사선연사표명박막위비정태차최대잔여응력체30 GPa이상,단300 ℃온도적원위퇴화가이유효강저잔여응력;납미압흔측시표명박막경도대우20 GPa,탄성모량대우200 GPa;X사선광전자능보표명박막중sp3적함량재39%～53%지간변화,병차여격광통량성정비.
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