功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2008年
1期
44-47
,共4页
吕蓬%郭亨群%申继伟%王启明
呂蓬%郭亨群%申繼偉%王啟明
려봉%곽형군%신계위%왕계명
nc-Si/SiNx薄膜%射频磁控反应溅射%光学非线性%量子限域效应%Z扫描
nc-Si/SiNx薄膜%射頻磁控反應濺射%光學非線性%量子限域效應%Z掃描
nc-Si/SiNx박막%사빈자공반응천사%광학비선성%양자한역효응%Z소묘
采用射频磁控反应溅射法结合热退火处理技术制备纳米硅镶嵌氮化硅(nc-Si/SiNx)复合薄膜.通过X射线能谱(EDS)、红外光谱(IR)、X射线衍射(XRD)及紫外-可见吸收光谱(UV-vis)的测定,对薄膜进行了组分、键合状态、结构及光学带隙的表征.采用皮秒激光运用单光束Z扫描技术开展了对该复合薄膜的非线性光学性质的研究,测得其三阶非线性折射率系数和非线性光吸收系数分别为10-8esu和10-8m/W量级,并将薄膜这种三阶光学非线性增强的原因归因于量子限域效应.
採用射頻磁控反應濺射法結閤熱退火處理技術製備納米硅鑲嵌氮化硅(nc-Si/SiNx)複閤薄膜.通過X射線能譜(EDS)、紅外光譜(IR)、X射線衍射(XRD)及紫外-可見吸收光譜(UV-vis)的測定,對薄膜進行瞭組分、鍵閤狀態、結構及光學帶隙的錶徵.採用皮秒激光運用單光束Z掃描技術開展瞭對該複閤薄膜的非線性光學性質的研究,測得其三階非線性摺射率繫數和非線性光吸收繫數分彆為10-8esu和10-8m/W量級,併將薄膜這種三階光學非線性增彊的原因歸因于量子限域效應.
채용사빈자공반응천사법결합열퇴화처리기술제비납미규양감담화규(nc-Si/SiNx)복합박막.통과X사선능보(EDS)、홍외광보(IR)、X사선연사(XRD)급자외-가견흡수광보(UV-vis)적측정,대박막진행료조분、건합상태、결구급광학대극적표정.채용피초격광운용단광속Z소묘기술개전료대해복합박막적비선성광학성질적연구,측득기삼계비선성절사솔계수화비선성광흡수계수분별위10-8esu화10-8m/W량급,병장박막저충삼계광학비선성증강적원인귀인우양자한역효응.
