机械设计与制造
機械設計與製造
궤계설계여제조
MACHINERY DESIGN & MANUFACTURE
2008年
3期
73-75
,共3页
线阵CCD%光重心法%扫描梁%动态稳定性
線陣CCD%光重心法%掃描樑%動態穩定性
선진CCD%광중심법%소묘량%동태은정성
介绍了极坐标下用多个线阵CCD对多目标位置检测系统的稳定性情况及系统的搭建.试验系统主要包括如下几个部分:控制主机,多个线阵CCD,精密旋转台,扫描梁,旋转平台,积分球光源以及自行设计的数据处理程序.采用"光重心法"对光斑信号进行处理.进行的实验测试表明在步距0.05mm时,动态和静态标准差分别为0.58μm和0.32μm,系统稳定性理想.实验结果证明由重心法得到的信号位置具有稳定性好等特点.
介紹瞭極坐標下用多箇線陣CCD對多目標位置檢測繫統的穩定性情況及繫統的搭建.試驗繫統主要包括如下幾箇部分:控製主機,多箇線陣CCD,精密鏇轉檯,掃描樑,鏇轉平檯,積分毬光源以及自行設計的數據處理程序.採用"光重心法"對光斑信號進行處理.進行的實驗測試錶明在步距0.05mm時,動態和靜態標準差分彆為0.58μm和0.32μm,繫統穩定性理想.實驗結果證明由重心法得到的信號位置具有穩定性好等特點.
개소료겁좌표하용다개선진CCD대다목표위치검측계통적은정성정황급계통적탑건.시험계통주요포괄여하궤개부분:공제주궤,다개선진CCD,정밀선전태,소묘량,선전평태,적분구광원이급자행설계적수거처리정서.채용"광중심법"대광반신호진행처리.진행적실험측시표명재보거0.05mm시,동태화정태표준차분별위0.58μm화0.32μm,계통은정성이상.실험결과증명유중심법득도적신호위치구유은정성호등특점.
