上海大学学报（自然科学版）
上海大學學報（自然科學版）
상해대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF SHANGHAI UNIVERSITY (NATURAL SCIENCE EDITION)
2008年
5期
498-502,530
,共6页
吴文彪%周栋义%金灯仁%孟中岩
吳文彪%週棟義%金燈仁%孟中巖
오문표%주동의%금등인%맹중암
溶胶凝胶法%钛酸锶铅薄膜%多层结构%介电调谐性能%温度稳定性
溶膠凝膠法%鈦痠鍶鉛薄膜%多層結構%介電調諧性能%溫度穩定性
용효응효법%태산송연박막%다층결구%개전조해성능%온도은정성
在研究组分、溶胶浓度对钛酸锶铅(PST)薄膜结构、介电、调谐性能等影响的基础上,设计一种以低损耗-高调谐-低损耗组分交替沉积的方法,研制了三明治多层结构的PST薄膜(PST20-40-20).研究结果表明,这种三明治多层结构的薄膜表面致密,晶粒均匀,同时具有调谐率高、损耗低等特点,综合性能比单组分要好,其调谐率、优值分别为52和45.在20～100 ℃范围内调谐率变化幅度小于8%,提高了温度稳定性.
在研究組分、溶膠濃度對鈦痠鍶鉛(PST)薄膜結構、介電、調諧性能等影響的基礎上,設計一種以低損耗-高調諧-低損耗組分交替沉積的方法,研製瞭三明治多層結構的PST薄膜(PST20-40-20).研究結果錶明,這種三明治多層結構的薄膜錶麵緻密,晶粒均勻,同時具有調諧率高、損耗低等特點,綜閤性能比單組分要好,其調諧率、優值分彆為52和45.在20～100 ℃範圍內調諧率變化幅度小于8%,提高瞭溫度穩定性.
재연구조분、용효농도대태산송연(PST)박막결구、개전、조해성능등영향적기출상,설계일충이저손모-고조해-저손모조분교체침적적방법,연제료삼명치다층결구적PST박막(PST20-40-20).연구결과표명,저충삼명치다층결구적박막표면치밀,정립균균,동시구유조해솔고、손모저등특점,종합성능비단조분요호,기조해솔、우치분별위52화45.재20～100 ℃범위내조해솔변화폭도소우8%,제고료온도은정성.
